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温度制御ソリューション

M74 シリーズさらに高精度に。
制御をスマートに。

半導体製造装置向けの 高性能温度制御。 M74シリーズが装置の安定稼働と生産性を支えます。

M74C Ethernet通信モジュール
M74CEthernet通信
M74 汎用4チャンネル温度調節器
M744ch PID
M74P RTD専用高精度温度調節器
M74P0.01 °C制御
M74R スマートI/O拡張モジュール
M74RI/O拡張

M74シリーズの特長

50~250ms

独自のSG-PIDアルゴリズム

スーパー2自由度PID 可変サンプリングに対応

可変サンプリング制御

±0.01℃

微小な温度変化も高精度に制御

M74P 高精度 制御

上記の値以下の制御精度

70%

優れた省スペース設計

コンパクトな構造で 制御盤スペースを有効活用

他社製品と比較した体積

31モジュール

一つのシステムとして接続

Modbus TCP・自動マッピング・I/O拡張

M74C 1台あたりの最大接続数

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